浙江大学航空制造工程研究所
Institute of Aerospace Manufacturing Engineering
航空制造高端装备研究中心
Research Center of High-end Equipment for Aerospace Manufacturing
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科学研究

光动干涉仪

发布时间：2020年04月01日

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性能参数

1.  品牌：光动；

2.  型号：MCV-5002；

3.  激光稳定性：0.1ppm；

4.  定位准确度：1ppm；

5.  直线分辨率：0.01μm。